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CAS No. 685-63-2 产品编号 22
英文名称 Hexafluoro-1,3-butadiene
产品名称 六氟丁二烯(HFBD)
分子式 162.03 分子量 C4F6
外观 无色、无味、无毒的气体
储存条件 应存放在阴凉通风处,容器应密封
包装 本产品充装在47L/470L/880L的钢瓶中
运输方式 本产品易燃、有毒,应按危险化学品运输。
Smiles C(=C(F)F)(C(=C(F)F)F)F

应用

大规模集成电路制造中的干法刻蚀工艺气体。 合成树脂和含氟物质。