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685-63-2 六氟丁二烯(HFBD)
CAS No.
685-63-2
产品编号
22
英文名称
Hexafluoro-1,3-butadiene
产品名称
六氟丁二烯(HFBD)
分子式
162.03
分子量
C4F6
外观
无色、无味、无毒的气体
储存条件
应存放在阴凉通风处,容器应密封
包装
本产品充装在47L/470L/880L的钢瓶中
运输方式
本产品易燃、有毒,应按危险化学品运输。
Smiles
C(=C(F)F)(C(=C(F)F)F)F
应用
大规模集成电路制造中的干法刻蚀工艺气体。 合成树脂和含氟物质。
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