| CAS No. | 产品名称 | 英文名称 | 状态 | 应用 |
|---|---|---|---|---|
| / | 氩氙氖混合气 | Argon-xenon-neon mixture | 商业化 | |
| / | 氧氩混合气 | Argon oxygen mixture | 商业化 | |
| / | 氪氖混合气 | Krypton neon mixture | 商业化 | |
| / | 氦氨混合气 | Helium ammonia mixture | 商业化 | |
| / | 氟氮混合气(F₂/N₂) | Fluorine nitrogen mixture | 商业化 | 氟氮混合气(氟气与氮气的混合气体)因其独特的化学性质(氟气的高反应性与氮气的惰性稀释作用)主要用于需要精确控制氟气活性或降低操作风险的工业领域。如包单体与微电子制造,核能工业,特种材料合成,表面处理与功能改性等领域。 |
| 685-63-2 | 六氟丁二烯(HFBD) | Hexafluoro-1,3-butadiene | 商业化 | 大规模集成电路制造中的干法刻蚀工艺气体。 合成树脂和含氟物质。 |
| 75-24-1 | 三甲基铝 | Trimethylaluminum | 可供应 | 用作半导体制造MOCVD、ALD工艺前驱体;有机合成烷基化催化剂;锂电池、钙钛矿电池氧化铝涂层制备前驱体。 |
| 小计: | 7 | |||